錫西氣體
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項目 |
指標純度% |
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高純氬氣(Ar) |
99.999 |
99.9995 |
99.9997 |
超純氬?99.9999 |
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雜質含量(ppm) |
氮(N2) |
≤5 |
≤5 |
≤3 |
≤0.4 |
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氧(O2) |
≤2 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.2 |
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氫(H2) |
≤1 |
- |
- |
- |
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一氧化碳(CO) |
- |
≤1 |
≤0.5 |
≤0.1 |
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二氧化碳(CO2) |
- |
≤1 |
≤0.5 |
≤0.1 |
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水份 (H2O) |
≤4 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.2 |
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總烴類THC |
≤2 |
≤0.3 |
≤0.2 |
≤0.1 |
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高純氬氣（超純氬氣）主要用途：
用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等。用作ICP，氣相色譜儀等儀器的載氣，標準氣、平衡氣、零點氣等。
氬氣理化性質：
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分子量：39.948 |
熔點：-189.2℃ |
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沸點(101.325kPa)：-185.9℃ |
液體密度(83.78K，68.749kPa)：1416.6kg/m3 |
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氣體密度(0℃，101.325kPa)：1.7841kg/m3 |
相對密度(0℃，101.325kPa，空氣=1)：1.380 |
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比容(21.1℃，101.325kPa)：0.6037m3/kg |
臨界溫度：-122.4℃ |
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臨界壓力：4864kPa |
臨界密度：530.7kg/m3 |
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熔化熱(-189.37℃，68.7kPa)：29.43kJ/kg |
汽化熱(-185.86℃,101.325kPa)：160.81kJ/kg |
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比熱容(101.325kPa，270K)：Cp=519.16J/(kg·K) |
Cv=309.82J/(kg·K) |
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比熱比(25℃，101.325kPa，氣體)：Cp/Cv=1.669 |
粘度(101.325kPa,0℃)：0.02083mPa·s |
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蒸汽壓(-191.885℃)：53.33kPa (-181.301℃)：159.99kPa (-178.880℃)：199.98kPa |
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表面張力(84K)：11.46mN/m |
導熱系數(101.325kPa，270K)：0.01620W/(m·K) |
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